SuperView W1光學3D表面輪廓儀拼出“天衣無縫”的3D全景

“見一葉而知深秋，窺一斑而見全豹” 這句話用來形容中圖儀器SuperView W1光學3D表面輪廓儀，在超精密加工顯微測量場景中發揮的作用恰如其分。

大多數的場景中，只需檢測一個數十、數百微米的區域，即可取得“見微知著”的效果，但在少數需要檢測超精密器件表面全貌的場景中，借助中圖儀器SuperView W1光學3D表面輪廓儀的自動拼接功能，就能夠快速實現大區域、高精度的測量。

場景一：超光滑的弧形表面

上圖是一款旋轉拋物面零件，用于微小位移和角度檢測，其表面具有超光滑、高反、凹面弧形特征，針對其凹面弧形的檢測需求，現有的顯微測量儀器中，原子力顯微鏡和共聚焦顯微鏡，均分別因有損測量或分辨率不夠的原因而排除，只有以白光干涉為原理的光學3D表面輪廓儀，能同時滿足無損、超高分辨率、耐高反等條件。

針對完成樣品超光滑凹面弧形掃描所需同時滿足的高精度、大掃描范圍的需求，中圖儀器SuperView W1的復合型EPSI重建算法，解決了傳統相移法PSI掃描范圍小、垂直法VSI精度低的雙重缺點。在自動拼接模塊下，只需要確定起點和終點，即可自動掃描，完美重建其超光滑的表面區域，不見一絲重疊縫隙。

場景二：粗糙的特征表面

上圖是涂覆在電極棒的催化劑表面全景圖，整體尺寸在7mm左右，中心的催化劑區域呈低反射率特點，而圓環外呈高反射率特點，整體的輪廓尺寸和微觀的輪廓起伏反映了涂覆的質量。

根據客戶精度要求，可將重建算法切換為高速掃描的FVSI重建算法，并可依據表面粗糙程度，選擇不同步距進行速度調節。

場景三：粗糙的有孔洞特征平面

上圖為手機插卡槽處的金屬薄片模塊，需要測量不含凹面區域的表面輪廓和平整度，因其表面較為粗糙且指定了測量區域，可使用高速FVSI算法，并在拼接測量設定時，使用地圖導航功能，在掃描時即可自動跳過凹面區域完成其余整體形貌的拼接測量。

自動拼接功能的使用，并不局限在上述三種案例當中，光滑或是粗糙、平面或是異形結構，當必須測量超出適配鏡頭下的單視場區域時，都可以采用自動拼接，而中圖儀器SuperView W1光學3D表面輪廓儀，可根據不同表面特點進行重建算法的切換，無論何種形貌，都可生成“天衣無縫”的3D全景。

這款儀器可否用于測量平晶平面度。

長度室 發表于 2019-10-15 10:32
這款儀器可否用于測量平晶平面度。

這當然無法完成對平晶平面度的測量