《電離真空計(jì)校準(zhǔn)規(guī)范》征求意見稿

3.1 調(diào)研情況
3.1.1 生產(chǎn)情況
目前國(guó)內(nèi)主要有成都國(guó)光電氣股份有限公司，成都正華電子儀器有限公司等年產(chǎn)量在100臺(tái)件以上。國(guó)外主要有：Inficon公司、Pfeiffer公司、Leybold公司等，在中國(guó)的年銷售量在200臺(tái)件以上。
3.1.2 使用情況
電離真空規(guī)一般應(yīng)用在航空、電子等行業(yè)。
3.2 主要內(nèi)容說明
本校準(zhǔn)規(guī)范將代替JJF 1062-1999《電離真空計(jì)》及JJG462-2004《二等標(biāo)準(zhǔn)電離真空計(jì)》
3.2.1 測(cè)量范圍
本校準(zhǔn)規(guī)范規(guī)定的測(cè)量范圍是1×10-9 Pa~100Pa，測(cè)量范圍的下限的確定主要從兩方面考慮：一是滿足實(shí)際需要，二是滿足使用要求。1×10-9 Pa的測(cè)量下限幾乎涵蓋所有行業(yè)的測(cè)量需求，目前各個(gè)國(guó)家的計(jì)量院及國(guó)內(nèi)的各個(gè)計(jì)量技術(shù)機(jī)構(gòu)，建立的校準(zhǔn)裝置的測(cè)量下限也都能夠覆蓋。測(cè)力那個(gè)上限定在100Pa是目前確實(shí)有部分電離真空計(jì)能夠測(cè)量到這個(gè)壓力，為了包含這些電離真空計(jì)，因此將測(cè)量上限定在了100Pa。
3.2.3 標(biāo)準(zhǔn)裝置
在本校準(zhǔn)規(guī)范中，測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)裝置推薦采用比較法真空標(biāo)準(zhǔn)裝置及動(dòng)態(tài)流導(dǎo)法真空標(biāo)準(zhǔn)裝置。主要因?yàn)檫@兩種校準(zhǔn)裝置的操作相對(duì)方便且能夠滿足計(jì)量需求。靜態(tài)膨脹系統(tǒng)不適宜電離真空計(jì)的校準(zhǔn)，因此沒有推薦使用。
3.2.4 標(biāo)準(zhǔn)裝置的不確定度要求
標(biāo)準(zhǔn)裝置的不確定度建議為Ur=(20%~5%) (k=2)，主要是考慮到目前的裝置基本能夠達(dá)到要求，且滿足電離真空計(jì)的校準(zhǔn)條件。
3.2.5 安裝
為避免校準(zhǔn)時(shí)的安裝位置與使用時(shí)安裝位置不同而產(chǎn)生系統(tǒng)差，校準(zhǔn)過程中，盡量按照客戶要求進(jìn)行。如無(wú)特殊要求，建議在證書中給出具體安裝位置。

學(xué)習(xí)下這方面的知識(shí)

JJF 1062-2022《電離真空計(jì)校準(zhǔn)規(guī)范》