納米級測厚儀校準

namehsc · 發表于 2016-10-28 15:26:51

各位量友大家好，前段時間遇到了濟南安妮麥特生產的（9～80）nm的測厚儀，請問國家有相應的檢規或規范，如何進行校準？所用標準器是什么，謝謝大家了，此儀器為接觸式的

cuiyihua · 發表于 2022-6-29 11:14:59

沒用過這么高精的儀器

lijuncnb66666 · 發表于 2022-6-30 15:47:03

精度太高了，需要專門配套的校準器吧，設備自帶的那種，使用過μm的測厚儀，第三方校準機構證書上寫的是JJF 1255-2010《厚度表校準規范》，不知道對你這種情況，有沒有用。

237358527 · 發表于 2022-7-1 11:46:22

lijuncnb66666 發表于 2022-6-30 15:47
精度太高了，需要專門配套的校準器吧，設備自帶的那種，使用過μm的測厚儀，第三方校準機構證書上寫的是JJF ...

這種第三方校準機構就是在搞笑。

benfreejx · 發表于 2022-7-10 14:01:44

謝謝，學習了

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[幾何量儀器] 納米級測厚儀校準