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[幾何量儀器] 原子力顯微鏡的雙探針接觸測量研究

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醬里個醬 發表于 2016-3-16 14:45:56 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
張華坤1,2,高思田2,李偉2
1.合肥工業大學儀器科學與光電工程學院
2.中國計量科學研究院

摘要 為實現雙探針原子力顯微鏡的探針對準,用探針A對探針B的成像進行了深入的研究。首先對音叉探針進行有限元仿真,分析探針的機械特性。其次用鎖相放大器獲取探針的幅度和頻率信號,讓探針接近樣品(硅片)以獲得系統的分辨率。最后在YOZ平面用探針A對探針B掃描成像,逐步縮小掃描范圍并同時減小掃描步進。實驗表明,探針的分辨率優于1 nm,雙探針對準精度可達5 nm。

原子力顯微鏡的雙探針接觸測量研究.part1.rar

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原子力顯微鏡的雙探針接觸測量研究.part2.rar

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