原子力顯微鏡的雙探針接觸測(cè)量研究

張華坤1,2,高思田2,李偉2
1.合肥工業(yè)大學(xué)儀器科學(xué)與光電工程學(xué)院
2.中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院

摘要 為實(shí)現(xiàn)雙探針原子力顯微鏡的探針對(duì)準(zhǔn),用探針A對(duì)探針B的成像進(jìn)行了深入的研究。首先對(duì)音叉探針進(jìn)行有限元仿真,分析探針的機(jī)械特性。其次用鎖相放大器獲取探針的幅度和頻率信號(hào),讓探針接近樣品（硅片）以獲得系統(tǒng)的分辨率。最后在YOZ平面用探針A對(duì)探針B掃描成像,逐步縮小掃描范圍并同時(shí)減小掃描步進(jìn)。實(shí)驗(yàn)表明,探針的分辨率優(yōu)于1 nm,雙探針對(duì)準(zhǔn)精度可達(dá)5 nm。