國家納米計量標準體系的初步建立

高思田,宋小平,李琪,施玉書,李偉,任玲玲,李適,王鶴群
中國計量科學研究院, 北京 100029
摘要 中國計量科學研究院經過多年研究,初步建立了國家納米計量溯源體系,包括有:納米幾何結構計量標準裝置、毫米級納米幾何結構計量標準裝置、掃描探針顯微鏡校準裝置、掃描電子顯微鏡校準裝置和納米薄膜厚度校準裝置。實現了對微納臺階高度、線間隔、線寬、膜厚的校準定值,還可滿足掃描探針顯微鏡、掃描電子顯微鏡等微納測量儀器的校準,有力地支撐了國家半導體及NMES/MEMS制造的發展。