請(qǐng)各位幫忙推薦一下非接觸測(cè)量的三座標(biāo)

       因?yàn)槔蟽x器壞了，需要報(bào)計(jì)劃采購(gòu)一臺(tái)新設(shè)備，主要用于測(cè)量薄壁件等容易變形的工件直徑。要求是能夠非接觸測(cè)量圓柱孔內(nèi)定高截面的內(nèi)徑或圓柱定高截面的外徑。精度最好在1微米左右（1+L/... 微米）一般測(cè)量范圍在250毫米就可以了，通常測(cè)量150以下的工件。
       我找到的儀器資料大部分是測(cè)量表面的，不能測(cè)到孔內(nèi)部，而且精度也不夠。

影像式三次元我推薦NIKON的NEXIV系列
好像型號(hào)是VMR-3020這樣子的，具體參數(shù)可以google一下

超高精度版VMR-H3030（X，Y，Z／300x300x150mm）精度：Uxy＝0.6＋2L／1000um　Uz＝0.9＋L／150um 精度倒是可以，不過(guò)好像這臺(tái)儀器是ccd成像的只能測(cè)量工件表面或者不太厚的工件。對(duì)于比較厚的圓柱孔內(nèi)部定高截面孔徑恐怕無(wú)法成像。
謝謝了。