白光干涉輪廓儀有檢定規(guī)程嗎

請(qǐng)教：白光干涉輪廓儀有校準(zhǔn)規(guī)范嗎？我主要是用該儀器測量工能測量y,z方向的尺寸，這種情況下，可以按影像測量儀校準(zhǔn)規(guī)范進(jìn)行校準(zhǔn)嗎？

目前只能按照ISO標(biāo)準(zhǔn)

有的：JJF（皖）146-2023白光干涉輪廓儀校準(zhǔn)規(guī)范

有個(gè)JJF（蘇）261-2023 光學(xué)顯微干涉式三維表面形貌測量儀校準(zhǔn)規(guī)范，適用于光學(xué)顯微干涉式三維表面形貌測量儀（也叫白光干涉儀），看看合適不。國家的也起草了，還沒公布。