塵埃粒子計數器校準系統的建立及其技術要點

【作者】 李松； 馮少波； 馮可榮；
【機構】 廣西壯族自治區計量檢測研究院；
【摘要】 <正>一、前言塵埃粒子計數器是粒度分析儀的一種,用于對潔凈環境(如微電子車間的潔凈廠房、醫院的潔凈手術間等)中的塵埃粒子的粒徑分布及粒子數目進行檢測。目前,校準塵埃粒子計數器依據的計量技術法規是JJF1190-2008《塵埃粒子計數器校準規范》。筆者以JJF1190-2008要求為依據,重點對氣溶膠發生裝置進行深入研究,探討了潔凈環境、干燥系統、分配和混合罐,以及靜電對氣溶膠發生裝置的影響,針對目前氣

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