基于激光干涉儀與自準直儀的平面鏡輪廓高精度測量技術

作　　者：楊平[1] 朱睿[1] 郭隱彪[1] 高增潔[2]
機構地區：[1]廈門大學物理與機電工程學院,廈門361005 [2]東京大學精密工學系東京1138656,日本
摘　　要：基于三組激光干涉光路與一臺自準直儀的光學掃描檢測方法,開發可用于大尺寸平面鏡二維輪廓的高精度測量技術。通過聯立線性方程式與最小二乘法結合的計算算法,可得到平面鏡二維輪廓的測量結果及整個測量過程的不確定度值。利用建模仿真整個測量過程,分析不同采樣點數N下不確定度數值的變化趨勢。此外,搭建基于高精度三坐標測量儀平臺上的光學檢測系統,試驗果表明該技術成功實現對100 mm平面鏡二維輪廓的測量,并可實現重復性測量精度在±20 nm范圍內。通過與Zygo白光干涉系統結果的比較,該檢測技術可以實現納米級別的測量精度。