GB/T 26250-2010 電子工業(yè)用氣體 砷化氫

【 標(biāo)準(zhǔn)編號(hào) 】 GB/T 26250-2010
【 標(biāo)準(zhǔn)名稱 】電子工業(yè)用氣體 砷化氫
【 英文名稱 】 Gases for electronic industry-Arsine
【 發(fā)布單位 】 國(guó)家質(zhì)檢總局、國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
【 歸口單位 】 全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)氣體分技術(shù)委員會(huì)（SAC/TC 203/SC 1)
【 發(fā)布日期 】 2011-01-14
【 實(shí)施日期 】2011-05-01
【 開(kāi)本頁(yè)數(shù) 】 6P
【 替代標(biāo)準(zhǔn) 】 無(wú)
【 起草單位 】 西南化工研究設(shè)計(jì)院、上海華愛(ài)色譜分析技術(shù)有限公司、光明化工研究設(shè)計(jì)院
【 起 草 人 】孫福楠、方華、周鵬云、莊鴻濤、李建浩

GBT 26250-2010 電子工業(yè)用氣體 砷化氫.pdf (148.15 KB, 下載次數(shù): 21)

2013-11-25 10:58 上傳

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