GB/T 26250-2010 電子工業用氣體 砷化氫

【 標準編號 】 GB/T 26250-2010
【 標準名稱 】電子工業用氣體 砷化氫
【 英文名稱 】 Gases for electronic industry-Arsine
【 發布單位 】 國家質檢總局、國家標準化管理委員會
【 歸口單位 】 全國半導體設備和材料標準化技術委員會氣體分技術委員會（SAC/TC 203/SC 1)
【 發布日期 】 2011-01-14
【 實施日期 】2011-05-01
【 開本頁數 】 6P
【 替代標準 】 無
【 起草單位 】 西南化工研究設計院、上海華愛色譜分析技術有限公司、光明化工研究設計院
【 起 草 人 】孫福楠、方華、周鵬云、莊鴻濤、李建浩

GBT 26250-2010 電子工業用氣體 砷化氫.pdf (148.15 KB, 下載次數: 21)

2013-11-25 10:58 上傳

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