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[工程參量] 求教平面度的測量

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1#
renkai 發表于 2013-5-23 18:39:12 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
請問不大于0.5μm的平面度該用什么方法測量？
2#
yj407 發表于 2013-5-23 20:29:10 | 只看該作者
被測面有多大？是什么樣子的？
3#
xxboxx 發表于 2013-6-18 08:28:19 | 只看該作者
平晶，或多點高精度測頭差動測量
4#
dingsen 發表于 2013-7-18 07:04:01 | 只看該作者
精度這么高啊，也就只有平晶了
5#
clairezhang 發表于 2013-7-26 10:26:17 | 只看該作者
超過100mm量程的不用平晶的話可以用什么？好像是鋼球什么的吧
6#
Jamque 發表于 2013-9-27 15:21:12 | 只看該作者
什么樣的工件？多大尺寸？如果是圓晶硅片類產品，可以用基于電容傳感器的專用量儀，測量范圍在1000um，測量平面度時測量精度在+/-0.05um，重復精度0.03um
7#
zpzjl 發表于 2013-10-17 10:37:41 | 只看該作者
三坐標 精度是達不到的
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