微電子參量測量的不確定度表示

微電子參量測量的不確定度表示
  
[摘要]  
本文敘述了在微電子參量檢測結果中引入測量不確定度的重要意義.重點討論了在微電子測量過程中應考慮的影響因素以及標準不確定度的計算規則.最后,給出了微電子參量測量不確定度表示的一種特殊應用,對驗證測試系統的可用性和測試結果的可靠性有較大的現實意義.
[關鍵詞]  
不確定度,微電子器件,參量檢測  
[作者]  
周紅, 中國船舶重工集團公司第七0九研究所; 沈森祖, 中國船舶重工集團公司第七0九研究所
[會議名稱]  
2002年全國電子測控工程學術年會  
[會議時間]  
20021013
[會議地點]  
武夷山
[主辦單位]  
中國電子學會%中國儀器儀表學會  
[會議分類]  
電工技術
無線電電子學、電信技術


[母體文獻]  
電子測量與儀器學報 2002增刊  
[出版單位]  
中國電子學會  
[出版地]  
北京  
[出版時間]  
20021001  
[頁碼]  
21-24
[注釋項]  

[分類]  
電工技術
無線電電子學、電信技術


[密級]  

[館藏號]  
H047235