用于一等量塊檢定的柯氏干涉儀的改造

摘要：
介紹了經(jīng)過(guò)改造后的柯氏干涉儀用于一等量塊的檢定.從激光干涉儀直接測(cè)量量塊長(zhǎng)度的原理出發(fā),通過(guò)對(duì)于涉條紋的整數(shù)部分N、小數(shù)部分ε以及修正量C的確定,計(jì)算出量塊長(zhǎng)度.改造中結(jié)合激光干涉技術(shù)、圖像采集判讀等技術(shù),提高了量塊測(cè)量準(zhǔn)確度,解決了一等量塊長(zhǎng)度測(cè)量問(wèn)題.
作者：         裴雅鵬[1]     黃曉蓉[2]
Author：         PEI Ya-pen[1]    HUANG Xiao-rong[2]
作者單位：        
北京航天計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究所,北京,100076
中國(guó)測(cè)試技術(shù)研究院,成都,610021