支撐光學制造的幾何量計量技術

幾何量計量技術大量應用于光學制造業以檢測零件質量和控制生產過程,是光學制造業的核心技術,涉及微納米結構的幾何量計量以及平面、球面、非球面、直紋曲面及自由曲面的面形計量.本文綜述了德國聯邦物理技術研究院支撐光學制造的部分計量技術.介紹了一種測量范圍為25 mm×25 mm×5 mm的計量型大范圍原子力顯微鏡(AFM),可靈活多樣地測量各種微納結構.介紹了一種新穎的AFM探針(ACP),可實現微納結構側壁形貌的直接、無損測量.介紹了一種應用Flared AFM探針的真三維AFM及其用于減少針尖磨損的矢量探測技術,可應用于各種納米結構的真三維測量.介紹了可用于平面和中等曲面面形絕對測量的兩種方法:差分型激光束偏轉法和可溯源多路傳感器法(TMS).討論了面形測量中存在的挑戰性難題.介紹了可用于面形測量的高精度三坐標測量機.
作 者： 戴高良 SCHULZ Michael EHRET Gerd DANZEBRINK Hans-Ulrich FLUEGGE Jens BOSSE Harald DAI Gao-liang SCHULZ Michael EHRET Gerd DANZEBRINK Hans-Ulrich FLUEGGE Jens BOSSE Harald   
作者單位： 德國聯邦物理技術研究院 ,布倫瑞克38116