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[線紋] 2m激光干涉測長基準裝置

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八一八 發表于 2012-10-13 20:09:32 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
摘要：闡述了2m激光干涉測長基準裝置工作原理及系統組成,以線間距測量功能為基礎,研究了接觸式和非接觸式的幾何測長對準方法,實現了其測長功能拓展應用.介紹了實現納米精度測長的技術措施.對稱布局的雙光電顯微鏡同步掃描測量接長的方式實現2m刻線間距測量,信號處理系統具有標準間距位置脈沖發生功能,可以實現位移傳感器動態觸發校準和其它應用.對于高質量的線紋尺,2m激光干涉測長基準裝置單次測量刻線間距的最佳瞄準精度優于10 nm(1σ),1 m測量范圍內的線紋測量不確定度U=(20 +40 L) nm(k=2)。

作者：葉孝佑等

單位：中國計量科學研究院,北京,100013

2m激光干涉測長基準裝置.rar

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