粗糙度0.5um平行度5um平面度3um 使用什么儀器可以測(cè)量，急！

江湖告急?。。。。。。。。。。。。。?！

最近公司開(kāi)發(fā)一款陽(yáng)極鉬片

產(chǎn)品粗糙度要求0.5um

平行度要求5um平面度要求3um

請(qǐng)問(wèn)使用什么儀器可以測(cè)量。

詢(xún)問(wèn)了很多儀器廠商都說(shuō)無(wú)法滿(mǎn)足其精度，

還請(qǐng)各位幫忙，如有聯(lián)系方式那就更完美了，謝謝！

附件為產(chǎn)品2D圖面，請(qǐng)各位幫忙看看

可以看一下檢驗(yàn)卡具設(shè)計(jì)這本書(shū)，上面寫(xiě)的很多東西可能對(duì)你們有幫助，在資料下載區(qū)就有這本書(shū)，可以找一下！

三坐標(biāo)可以檢測(cè)平行和平面度但是粗糙度不能檢測(cè)

三坐標(biāo)可以檢測(cè)平行和平面度但是粗糙度不能檢測(cè)
bruceiee 發(fā)表于 2013-1-13 09:59

精度到微米了，三座標(biāo)的精度是達(dá)不到的

三維形貌測(cè)量?jī)x可以測(cè)量

　　被測(cè)件是一個(gè)圓形金屬薄片，直徑大小43mm，厚度僅1.5mm，要求表面粗糙度0.5μm，平面度3μm，上下表面的平行度5μm。簡(jiǎn)單有效的測(cè)量方法是：
　　測(cè)量中自重引起的變形和測(cè)量力引起的變形是必須防范的?？梢蕴碇靡粋€(gè)φ60的平面平晶，將被測(cè)件貼附在平晶工作面上防止變形引入的測(cè)量誤差。
　　表面粗糙度的檢測(cè)是非常簡(jiǎn)單的，只需要一臺(tái)表面粗糙度測(cè)量?jī)x就可以了。
　　平面度的檢測(cè)也很簡(jiǎn)單，使用另一個(gè)平面平晶觀察干涉帶形狀、干涉帶環(huán)數(shù)和條紋彎曲度即可，或者最簡(jiǎn)單的方法是用刀形直尺通過(guò)光隙法觀看不同方向上的光隙大小也是可以的。
　　上下表面的平行度可將貼附著被測(cè)件的平面平晶置于平板上，表架上安裝分度值1μm，或分辨力0.1μm的指示表（顯示儀）。先調(diào)整平晶使其四周在指示表上的讀數(shù)相等，然后用指示表在被測(cè)件表面上采點(diǎn)，各點(diǎn)在指示表上讀數(shù)的最大值與最小值之差即為被測(cè)件上表面對(duì)與平晶貼附表面的平行度誤差。然后將被測(cè)件翻面，同樣測(cè)得一個(gè)平行度誤差。取兩個(gè)平行度誤差的最大值作為被測(cè)件上下表面的平行度誤差測(cè)量結(jié)果。

平行度可以用立式光學(xué)計(jì)測(cè)量，粗糙度可以用粗糙度測(cè)量?jī)x測(cè)量，平面度采用平晶以技術(shù)光波干涉法或者以光隙法測(cè)量。