天津檢驗檢疫局納米測量標(biāo)準(zhǔn)器填補納米行業(yè)國內(nèi)空白

近日，天津檢驗檢疫局研制的“納米尺度測量標(biāo)準(zhǔn)器”獲得國家實用新型專利授權(quán)。該項目采用國際先進(jìn)的聚焦離子束刻蝕技術(shù)，具有分辨率高、線距均勻、材料穩(wěn)定、設(shè)計獨特等特點，可以滿足不同形狀樣品的比對測量需求，有效解決了納米尺度更準(zhǔn)確的測量問題，填補了納米材料領(lǐng)域標(biāo)準(zhǔn)器國內(nèi)空白，達(dá)到國際先進(jìn)水平。

    隨著納米科技飛速發(fā)展，用于測量納米尺度的高分辨率測量器具一直是人們所關(guān)注的課題，為了得到更準(zhǔn)確的測量結(jié)果，需要有一個更接近于樣品尺度的標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)——納米標(biāo)準(zhǔn)器。

    天津局課題組經(jīng)過兩年的刻苦鉆研，通過精選納米標(biāo)準(zhǔn)器材質(zhì)，采用先進(jìn)的聚焦離子束刻蝕技術(shù)，研制成功一種新型的用于掃描電鏡納米尺度測量的納米標(biāo)準(zhǔn)器。該納米標(biāo)準(zhǔn)器分辨率高，具有78納米的標(biāo)準(zhǔn)周期線距，遠(yuǎn)小于目前公認(rèn)的S1000標(biāo)準(zhǔn)器的線距1000納米（1微米），是真正意義上的納米級標(biāo)準(zhǔn)器，并且保證每個刻度周期線距的均勻性和一致性，可使得最小線距整數(shù)倍的距離都可以作為標(biāo)準(zhǔn)長度來比對，材料膨脹系數(shù)低、性能穩(wěn)定，設(shè)計將橫線、豎線、點陣和圓環(huán)形狀的標(biāo)準(zhǔn)刻度融于一體，可以滿足不同形狀樣品的比對測量需求。