維鉻原子沉積納米光柵樣板——課題驗收會

由中國計量科學研究院、同濟大學和國防科技大學聯(lián)合組成的研究小組，經(jīng)過3年的科技攻關(guān)，在國內(nèi)首次成功研制出一維納米尺度光柵標準樣板。11月2日，該課題通過了國家質(zhì)檢總局科技司組織的驗收鑒定。

圖為該課題驗收會現(xiàn)場

       近年來，我國納米技術(shù)產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅速。與此同時，納米產(chǎn)業(yè)對計量基標準的需求也日益突顯。我國每年進口的近萬臺納米測量儀器無法進行質(zhì)量檢測，不得不依靠國外樣板進行校準。即便如此，我國納米產(chǎn)業(yè)量值不一的狀況并未從根本上得到解決。據(jù)了解，由于溯源渠道不同，同在無錫的兩家大型集成電路企業(yè)的線寬量值竟然相差10%。量值溯源問題已嚴重阻礙了我國納米技術(shù)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，對國民經(jīng)濟造成了很大損失。
       為解決上述問題，以中國計量科學研究院電學量子所長度量子基準研究室為主導的科研小組在調(diào)研基礎(chǔ)上，于2006年立項承擔了“十一五”國家科技支撐計劃課題——“冷原子納米尺度計量基準關(guān)鍵技術(shù)研究”。
       經(jīng)過3年的努力，研究小組掌握了鉻原子沉積納米光柵理論和技術(shù)，自主建立了高真空度原子沉積實驗裝置，成功研制出柵距為（213.1±0.5）nm的一維納米尺度光柵標準樣板，并通過了專業(yè)機構(gòu)的計量驗證。通過本課題的實施，中國計量科學研究院在昌平院區(qū)建立了原子沉積納米光柵實驗基地，培養(yǎng)和鍛煉出一支具有高素質(zhì)、創(chuàng)新性和專業(yè)化的科研隊伍。
       一維標準納米光柵樣板是國際計量局規(guī)定的5個納米標準樣板之一。它的成功研制，突破了我國納米技術(shù)產(chǎn)業(yè)發(fā)展的技術(shù)瓶頸，填補了我國在納米計量標準物質(zhì)方面研究的空白，技術(shù)指標達到了國際先進水平。該項成果的取得，使我國成為少數(shù)幾個掌握原子光柵沉積技術(shù)的國家之一，使納米計量標準物質(zhì)國產(chǎn)化成為可能，將從根本上解決我國納米測量儀器的量值溯源和校準問題，改變我國納米計量長期依賴國外的現(xiàn)狀，為我國納米技術(shù)產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展提供有力的技術(shù)支撐。