用激光干涉儀檢定三坐標單軸測量精度的具體步驟嗎？

zhangmei · 發表于 2007-10-7 20:18:22

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九江風云 · 發表于 2007-10-9 21:33:08

用雙頻激光干涉儀校準時反應不出測頭引入的誤差，所以以量塊校準為準。校準某個單軸誤差時只能反應光柵尺的誤差，校準時將干涉儀安裝在測量軸上，操作測量機，在單方向上移動一段距離，將此儀器示值與激光干涉儀顯示的數據比較，就得出誤差。

zhangmei · 發表于 2007-10-14 17:19:38

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zhangmei · 發表于 2007-10-20 18:22:26

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zhangmei · 發表于 2007-10-22 21:08:31

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zhangmei · 發表于 2007-10-27 21:18:47

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zhangmei · 發表于 2007-11-11 10:34:45

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titmas · 發表于 2007-11-25 18:38:14

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上海計量員 · 發表于 2012-5-31 21:51:31

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