用激光干涉儀檢定三坐標(biāo)單軸測(cè)量精度的具體步驟嗎？

zhangmei · 發(fā)表于 2007-10-7 20:18:22

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九江風(fēng)云 · 發(fā)表于 2007-10-9 21:33:08

用雙頻激光干涉儀校準(zhǔn)時(shí)反應(yīng)不出測(cè)頭引入的誤差，所以以量塊校準(zhǔn)為準(zhǔn)。校準(zhǔn)某個(gè)單軸誤差時(shí)只能反應(yīng)光柵尺的誤差，校準(zhǔn)時(shí)將干涉儀安裝在測(cè)量軸上，操作測(cè)量機(jī)，在單方向上移動(dòng)一段距離，將此儀器示值與激光干涉儀顯示的數(shù)據(jù)比較，就得出誤差。

zhangmei · 發(fā)表于 2007-10-14 17:19:38

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zhangmei · 發(fā)表于 2007-10-20 18:22:26

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zhangmei · 發(fā)表于 2007-10-22 21:08:31

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zhangmei · 發(fā)表于 2007-10-27 21:18:47

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zhangmei · 發(fā)表于 2007-11-11 10:34:45

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titmas · 發(fā)表于 2007-11-25 18:38:14

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上海計(jì)量員 · 發(fā)表于 2012-5-31 21:51:31

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[坐標(biāo)] 用激光干涉儀檢定三坐標(biāo)單軸測(cè)量精度的具體步驟嗎？

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