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[工程參量] 請問:標準平晶的平面度如何計算?

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jier1 發表于 2009-12-10 21:50:31 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
送檢的標準平面平晶,直徑150mm,給出的證書平面度數據為:
1-2截面:
+70mm:0; +48mm:-0.18um; 0:-0.12um; -48mm:-0.15um; -70mm:0
3-4截面:
+70mm:0; +48mm:-0.10um; 0:-0.13um; -48mm:-0.13um; -70mm:0

請問大家:標準平晶在96mm范圍內的兩個截面上平面度如何計算?
2#
xqbljc 發表于 2009-12-10 22:43:56 | 只看該作者
本帖最后由 xqbljc 于 2009-12-10 22:45 編輯

1-2截面140mm的平面度為F140=0.18μm(凹,記做-);
3-4截面140mm的平面度為F140=0.13μm(凹,記做-);
1-2截面96mm的平面度為F96=f0-(f+48+f-48)/2=0.045μm(凸,記做+);
3-4截面96mm的平面度為F96=f0-(f+48+f-48)/2=0.015μm(凹,記做-)。
      注:所有蘭色字均為下標,此標準平面平晶在96mm平面度,在1-2截面和3-4截面兩個截面上凹、凸均有,應該講做工作平晶的標準器已經不合適了,
            JJG28-2000平晶規程在4.2.1.2中 講的很清楚:(2/3) d內的平面度應與總偏差方向一致,兩個截面的偏差方向也應一致。
            至于標準平晶在96mm范圍內的兩個截面上平面度計算原理,就是將+70mm和-70mm上的兩端點連線平移并旋轉至+48mm和-48mm兩位置即可。
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