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[幾何量儀器] 咨詢金相顯微鏡的校準方法

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1#
沉浮的野性 發表于 2009-11-9 14:04:04 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
公司有一臺上海產的金相顯微鏡,主要用來測試產品的鍍層厚度,厚度大約都在2UM-35UM之間,現在有一個光學校正板(就是一個板上有一些小圓孔,分別是0.1mm,0.25mm,0.5mm,0.75mm)領導讓用這個東西校顯微鏡(校正板是校過的)我測試出來一些數值,就是不知道該如何叛斷是不是合格,
0.1mm 0.1mm
0.25mm 0.25mm
0.5mm 0.52mm
0.75mm 0.775mm
標稱值 測得值
計量院校正光學校正板的結果
標稱直徑 校準結果
0.75mm 0.748mm
0.5mm 0.499mm

結果不確定度U=0.003mm,K=2
2#
星空漫步 發表于 2009-11-9 15:36:00 | 只看該作者
你看鍍層厚度時,看的是剖面吧?

金相顯微鏡不是計量儀器,應該沒有計量意義上的“校準”可做。最多也就是用您所說的光學校正板校正一下倍率精度,或者說是單一像素的尺寸。

金相顯微鏡的物鏡是有畸變的,即視場內各點的倍率是不一樣的;CCD各像素之間也并非沒有誤差。
到現在為止,還沒有那家公司是進行逐一像素校正的。
3#
 樓主| 沉浮的野性 發表于 2009-11-10 15:28:19 | 只看該作者
對,看的是剖面,這個是不是應該校對物鏡就可以了,物鏡是自己校對還是送計量院?
4#
星空漫步 發表于 2009-11-11 11:43:22 | 只看該作者
要校正的是觀測倍率,該倍率不僅與物鏡有關,還與放大光路中的其它部分有關,這里面也包含了從CCD靶面到顯示窗上的放大。
物鏡不用送計量院,就算送過去也沒有用。因為:
物鏡的各種象差,尤其是畸變,對測量精度是有影響的,現在沒有人能夠在視場內,把各點,即各個位置的畸變都給修正了,CCD像素當量尺寸校正也只做一個像素的,而實際上顯示窗內的每個像素尺寸是有細微區別的,這一區別也會影響到你的測量精度。
目前,國外最好的做法,就是盡可能地控制整個放大系統,尤其是物鏡的象差,特別是物鏡的畸變。當象差對測量精度的影響降到現在人們可以忽略的程度時,我們就可以暫時不去考慮它的影響了。實際上有很多半路出家制作光學量儀的公司,由于在這方面不專業,自己不能去控制這類指標,所以自己也就不提此事,也不去管它了。
再次重申:金相顯微鏡在概念上,不屬于任何計量儀器,所以我認為它不需要做任何計量意義的送檢。
當然,如果你們領導要把它當作量儀來對待,那我也沒有辦法。那樣的話,只好請你自己跟計量部門溝通,看他們如何能夠滿足你們領導的要求了。
5#
 樓主| 沉浮的野性 發表于 2009-11-11 15:48:43 | 只看該作者
朋友,你確實很專業,你說講的這些我目前還不是很懂,因為一些專業述語,我需要多讀幾編。不過你最后一席話,我想他確實很重要。
6#
星空漫步 發表于 2009-11-12 08:36:58 | 只看該作者
不必客氣。
光學很難的,我也學得不好,只知道成象誤差一共有兩種色差、五種象差,加在一起是七種色象差,其中畸變屬于象差的一種,它從視場中央往外是呈三次冪增長的,對精密尺寸測量影響大,且很不容易消除。
另外再提一點,就個人經驗來說,一般金相物鏡畸變所引入的倍率變差,通常都>1%,即每mm偏差10um以上。但不知這種量級的誤差你們公司是否可以承受,而漠視不理。
既然,視場內各點的倍率不同,那么校正板上的被測圓在視場內擺放的位置不同,測得值也必然不同,因此光看1樓的那張表不能說明多少問題。當然,如果測量精度要求很低,那就無所謂了。
7#
thylsmtxd 發表于 2009-11-15 09:39:35 | 只看該作者
可以根據JJG(教委)012-1996金相顯微鏡檢定規程,主要是物鏡實際放大倍數檢定。方法:將0.01mm分刻度板放置在載物臺上,又將待檢的物鏡裝轉到工作位置,把0.1mm分刻度目鏡測微尺插入光路中,然后對0.01mm分刻度板聚焦觀察0.1mm分刻度的格數與0.1mm分刻度多少格相重合,通過計算,得物鏡實際放大
倍數
    M=  目鏡分刻度格數×0.1/物鏡分刻度格數×0.01
8#
星空漫步 發表于 2009-11-16 12:11:50 | 只看該作者
7樓的朋友:

視場內各點的倍率是不同的,所以用你介紹的方法得到的倍數M,只有參考意義。這和樓主想了解的問題,恐怕是兩碼事。
9#
小智 發表于 2010-3-6 13:54:48 | 只看該作者
學習,正好有臺金相顯微鏡,還不知道怎么校對。
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