納米尺度線寬的測量與Nanol國際關鍵比對

褚巍 趙學增 肖增文 王偉杰哈爾濱工業大學機電工程學院，黑龍江哈爾濱150001摘　要:現代集成電路制造業、數據存儲工業和微機電系統等行業的不斷發展，對納米尺度線寬的測量提出了越來越高的要求。目前的一些測量方法分別存在各自的缺點與不足，在缺少更高準確度計量標準的情況下，往往采用比對的方法使計量結果趨于一致。國際計量局在1998年把納米尺度線寬計量確定為納米尺度基本特征國際關鍵比對項目之一。文章對它的主要研究內容以及進展情況作了介紹。