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GB/T 14140.2-1993 硅片直徑測量方法 千分尺法

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jinyibu 發(fā)表于 2009-1-16 12:23:42 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
【 標準編號 】 GB/T 14140.2-1993
【 標準名稱 】 硅片直徑測量方法 千分尺法  
【 英文名稱 】 Silicon slices and wafers--Measuring of diameter--Micrometer method
【 發(fā)布單位 】 SBTS
【 批準單位 】 國家技術監(jiān)督局
【 發(fā)布日期 】 1993-2-6
【 實施日期 】 1993-10-1
【【 所屬標準 】 GB
【 開本頁數(shù) 】 3P
【 引用標準 】 GB 12962; GB 2828

bz001011211.pdf

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