GB/T 14141-1993 硅外延層擴散層和離子注入層薄層電阻的測定

【 標準編號 】 GB/T 14141-1993
【 標準名稱 】 硅外延層、擴散層和離子注入層薄層電阻的測定 直排四探針法  
【 英文名稱 】 Test method for sheet resistance of silicon epitaxial, diffused and ion-implanted layers using a collinear four-probe array
【 發布單位 】 SBTS
【 批準單位 】 國家技術監督局
【 發布日期 】 1993-2-6
【 實施日期 】 1993-10-1
【 所屬標準 】 GB
【 開本頁數 】 4P
【 采用關系 】 ASTM F374-1984,EQV