GB/T 14015-92硅—藍寶石外延片

【 標準編號 】 GB/T 14015-92
【 標準名稱 】 硅—藍寶石外延片 
【 英文名稱 】 Silicon on sapphire epitaxial wafers
【 發布單位 】 國家技術監督局
【 批準單位 】 國家技術監督局
【 發布日期 】 1992-12-28
【 實施日期 】 1993-8-1
【 開本頁數 】 8P
【 引用標準 】 GB 6624; GB 2828; GB/T 13843; SJ 2446
【 采用關系 】 SEMI M3-1983,REF
【 起草單位 】 天津半導體技術研究所
【 起 草 人 】 陳顗; 孫家龍; 牛志強; 步云英