GB/T 4058-1995 硅拋光片氧化誘生缺陷的檢驗(yàn)方法

【 標(biāo)準(zhǔn)編號(hào) 】 GB/T 4058-1995
【 標(biāo)準(zhǔn)名稱(chēng) 】 硅拋光片氧化誘生缺陷的檢驗(yàn)方法  
【 英文名稱(chēng) 】 Test method for detection of oxidation induced defects in polished silicon wafers
【 發(fā)布單位 】 國(guó)家技術(shù)監(jiān)督局
【 批準(zhǔn)單位 】 國(guó)家技術(shù)監(jiān)督局
【 發(fā)布日期 】 1995-4-18
【 實(shí)施日期 】 1995-12-1
【 開(kāi)本頁(yè)數(shù) 】 10P
【 替代標(biāo)準(zhǔn) 】 GB 4058-83; GB 6622-86; GB 6623-86
【 引用標(biāo)準(zhǔn) 】 GB/T 1554; YS/T 209
【 采用關(guān)系 】 ,
【 起草單位 】 峨眉半導(dǎo)體材料廠(chǎng)
【 起 草 人 】 吳道榮; 王向東; 胡政; 劉文魁