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GB/T 6520-1995硅片翹曲度非接觸式測試方法

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woshi_tjy 發表于 2008-12-31 12:27:24 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
【 標準編號 】 GB/T 6520-1995
【 標準名稱 】 硅片翹曲度非接觸式測試方法  
【 英文名稱 】 Test method for measuring warp on silicon slices by noncontact scanning
【 批準單位 】 國家技術監督局
【 發布日期 】 1995-4-18
【 實施日期 】 1995-12-1
【 開本頁數 】 5P
【 替代標準 】 6620 -1986

bz001015803.pdf

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