GB/T 6624-1995硅拋光片表面質(zhì)量目測(cè)檢驗(yàn)方法

【 標(biāo)準(zhǔn)編號(hào) 】 GB/T 6624-1995
【 標(biāo)準(zhǔn)名稱 】 硅拋光片表面質(zhì)量目測(cè)檢驗(yàn)方法  
【 英文名稱 】 Standard method for measuring the surface quality of polished silicon slices by visual inspection
【 發(fā)布單位 】 SBTS
【 批準(zhǔn)單位 】 國(guó)家技術(shù)監(jiān)督局
【 發(fā)布日期 】 1995-4-18
【 實(shí)施日期 】 1995-12-1
【 開本頁(yè)數(shù) 】 3P
【 替代標(biāo)準(zhǔn) 】 GB 6624-1986
【 引用標(biāo)準(zhǔn) 】 GB/T 14264
【 采用關(guān)系 】 ASTM F 523-1988,EQV
【 起草單位 】 上海第二冶煉廠