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GB/T 15870-1995 硬面光掩模用鉻薄膜

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woshi_tjy 發表于 2008-12-28 10:38:34 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
【 標準編號 】 GB/T 15870-1995
【 標準名稱 】 硬面光掩模用鉻薄膜  
【 英文名稱 】 Chrome thin films for hard surface photomasks
【 發布單位 】 國家技術監督局
【 批準單位 】 國家技術監督局
【 發布日期 】 1995-12-22
【 實施日期 】 1996-8-1
【 開本頁數 】 7P
【 引用標準 】 GB 191-90; GB 2828-87; GB 2829-87; GB 7239-87; GB 7240-87; GB 7241-87; GB/T 15871-1995; SJ/T 10584-94
【 采用關系 】 NEQ SEMI Semip 2-86
【 起草單位 】 長沙韶光微電子總公司; 電子工業部標準化研究所
【 起 草 人 】 吳保華; 王亦林; 趙雨生; 談仁良

BZ002023652.pdf

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