GB/T 16527-1996硬面感光板中光致抗蝕劑和電子束抗蝕劑規范

【 標準編號 】 GB/T 16527-1996
【 標準名稱 】 硬面感光板中光致抗蝕劑和電子束抗蝕劑規范  
【 英文名稱 】 Specification for photoresist/E-beam resist for hard surface photoplates
【 發布單位 】 國家技術監督局
【 批準單位 】 國家技術監督局
【 發布日期 】 1996-9-9
【 實施日期 】 1997-5-1
【 開本頁數 】 7P
【 引用標準 】 GB 191-90; GB 2828-87; GB 2829-87; GB 7238-87; GB 7239-87; GB/T 15871-1995; GB/T 15870-1995; SJ/T 10584-94
【 采用關系 】 EQV SEMI P3-90
【 起草單位 】 長沙韶光微電子總公司; 電子工業部標準化研究所
【 起 草 人 】 談仁良; 吳保華; 王亦林; 韓艷芬