GB/T 16945-1997 電子工業(yè)用氣體 氬

【 標(biāo)準(zhǔn)編號 】 GB/T 16945-1997
【 標(biāo)準(zhǔn)名稱 】 電子工業(yè)用氣體 氬  
【 英文名稱 】 Gases for electronic industry—Argon
【 發(fā)布單位 】 SBTS
【 批準(zhǔn)單位 】 國家技術(shù)監(jiān)督局
【 發(fā)布日期 】 1997-8-13
【 實(shí)施日期 】 1998-5-1
【 開本頁數(shù) 】 4P
【 引用標(biāo)準(zhǔn) 】 GB/T 4842-1995; GB/T 5832.1-86; GB/T 5832.2-86; GB/T 6285-86; GB/T 8984.1-1997; GB/T 8984.3-1997; GB 14193-1993; JB/TQ 503-86; JB/T 6897-93; JB/T 6898-93
【 采用關(guān)系 】 EQV SEMI C3.46-93
【 起草單位 】 化學(xué)工業(yè)部西南化工研究院; 上海BOC氣體工業(yè)有限公司; 武鋼氧氣廠; 洛陽單晶硅廠
【 起 草 人 】 顏伯舉; 王少楠