JB/T 4081-91 濺射離子泵 型式與基本參數(shù)

【 標(biāo)準(zhǔn)編號(hào) 】 JB/T 4081-91
【 標(biāo)準(zhǔn)名稱(chēng) 】 濺射離子泵 型式與基本參數(shù)  
【 發(fā)布單位 】 CSIC-JB
【 批準(zhǔn)單位 】 中華人民共和國(guó)機(jī)械電子工業(yè)部
【 發(fā)布日期 】 1991-7-22
【 實(shí)施日期 】 1992-7-1
【 開(kāi)本頁(yè)數(shù) 】 2P
【 替代標(biāo)準(zhǔn) 】 JB 4081-85
【 引用標(biāo)準(zhǔn) 】 GB 3163; GB 6071; ZB J78 016
【 起草單位 】 機(jī)械電子工業(yè)部沈陽(yáng)真空技術(shù)研究所
【 起 草 人 】 馮玉國(guó)