SJ 2802-87電子級氣體中痕量二氧化碳的測定方法氫焰轉(zhuǎn)化

【 標(biāo)準(zhǔn)編號 】 SJ 2802-87
【 標(biāo)準(zhǔn)名稱 】 電子級氣體中痕量二氧化碳的測定方法氫焰轉(zhuǎn)化色譜法  
【 發(fā)布單位 】 電子工業(yè)部
【 發(fā)布日期 】 1987-5-18
【 實施日期 】 1988-1-1
【 開本頁數(shù) 】 5P
【 起草單位 】 電子工業(yè)部第七四二廠; 上海測試技術(shù)研究所; 電子工業(yè)部標(biāo)準(zhǔn)化研究所; 中科院半導(dǎo)體研究所
【 起 草 人 】 朱國華; 趙長春; 尹恩華