SJ 2805-87電子級氫中痕量氧+氬、氮測定方法變溫濃縮色譜法

【 標(biāo)準(zhǔn)編號 】 SJ 2805-87
【 標(biāo)準(zhǔn)名稱 】 電子級氫中痕量氧+氬、氮測定方法變溫濃縮色譜法  
【 發(fā)布單位 】 中華人民共和國電子工業(yè)部
【 發(fā)布日期 】 1987-5-18
【 實施日期 】 1988-1-1
【 開本頁數(shù) 】 4P
【 起草單位 】 中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所; 電子工業(yè)部標(biāo)準(zhǔn)化研究所
【 起 草 人 】 尹恩華; 楊雪珍; 趙長春