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SJ/Z 2926-88 集成電路制版設備性能測試方法

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woshi_tjy 發表于 2008-8-6 19:41:50 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
【 標準編號 】 SJ/Z 2926-88
【 標準名稱 】 集成電路制版設備性能測試方法  
【 發布單位 】 中華人民共和國電子工業部
【 批準單位 】 中華人民共和國電子工業部
【 發布日期 】 1988-3-10
【 實施日期 】 1988-10-1
【 開本頁數 】 19P
【 起草單位 】 電子工業部第四十五研究所

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