SJ/Z 3206.13-89半導體材料發射光譜分析方法通則

【 標準編號 】 SJ/Z 3206.13-89
【 標準名稱 】 半導體材料發射光譜分析方法通則  
【 批準單位 】 中華人民共和國電子工業部
【 發布日期 】 1989-2-10
【 實施日期 】 1989-3-1
【 開本頁數 】 7P
【 引用標準 】 GB 9259-88; SJ/Z 3206.3-89; SJ/Z 3206.11-89; SJ/Z 3206.4-89; SJ/Z 3206.14-89
【 起草單位 】 機械電子工業部第五十五研究所; 電子標準化研究所
【 起 草 人 】 黃文裕; 趙長春