SJ/T 10457-93俄歇電子能譜術(shù)深度剖析標(biāo)準(zhǔn)導(dǎo)則

【 標(biāo)準(zhǔn)編號 】 SJ/T 10457-93
【 標(biāo)準(zhǔn)名稱 】 俄歇電子能譜術(shù)深度剖析標(biāo)準(zhǔn)導(dǎo)則  
【 英文名稱 】 Standard guide for depth profiling in auger electron spectroscopy
【 發(fā)布單位 】 中華人民共和國電子工業(yè)部
【 批準(zhǔn)單位 】 中華人民共和國電子工業(yè)部
【 發(fā)布日期 】 1993-12-17
【 實(shí)施日期 】 1994-6-1
【 開本頁數(shù) 】 5P
【 采用關(guān)系 】 EQV ASTM E1127-86
【 起草單位 】 天津電子材料研究所
【 起 草 人 】 李巖松; 劉詠梅; 羅興華; 嚴(yán)如岳; 華慶恒