SJ/T 10478-94磁控濺射設備通用技術條件

【 標準編號 】 SJ/T 10478-94
【 標準名稱 】 磁控濺射設備通用技術條件  
【 英文名稱 】 General specification for magnetic sputtering equipment
【 發布單位 】 中華人民共和國電子工業部
【 批準單位 】 中華人民共和國電子工業部
【 發布日期 】 1994-4-11
【 實施日期 】 1994-10-1
【 開本頁數 】 10P
【 引用標準 】 GB 191; GB 2681; GB 2682; GB 3163; GB 3797; GB 5080.7; GB 6388; GB 7231; GB/T 13334; GB 13840; ZBJ 78019; SJ 1276; SJ 2267; SJ 2573; SJ/T 10152
【 起草單位 】 國營南光機器廠標準化研究所
【 起 草 人 】 賀學紅; 陸裕芳; 武又文; 靳毅; 金和東; 趙雨生