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SJ/T 31100-94離子束蝕刻機完好要求和檢查評定方法

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woshi_tjy 發表于 2008-7-24 16:46:28 | 只看該作者回帖獎勵

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【標準編號】 SJ/T 31100-94
【標準名稱】離子束蝕刻機完好要求和檢查評定方法
【發布單位】 CSIC-SJ
【批準單位】中華人民共和國電子工業部
【發布日期】 1994-4-15
【實施日期】 1994-6-1
【開本頁數】 5P
【起草單位】電子工業部第48所
【起草人】安志超

檢查, 離子束, 蝕刻機, 評定

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