SJ/T 31111-94AMC—7811/21型桶式外延爐完好要求和檢查評定方法

【 標準編號 】 SJ/T 31111-94
【 標準名稱 】 AMC—7811/21型桶式外延爐完好要求和檢查評定方法  
【 發布單位 】 CSIC-SJ
【 批準單位 】 中華人民共和國電子工業部
【 發布日期 】 1994-4-15
【 實施日期 】 1994-6-1
【 開本頁數 】 3P
【 起草單位 】 中國華晶電子集團公司
【 起 草 人 】 秦舒; 張國仁; 顧軍建; 吳正偉