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SJ/T 31121-94JB—Ⅶ型掩模對準曝光機完好要求和檢查評定方法

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woshi_tjy 發表于 2008-7-24 12:47:56 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
【 標準編號 】 SJ/T 31121-94
【 標準名稱 】 JB—Ⅶ型掩模對準曝光機完好要求和檢查評定方法  
【 發布單位 】 CSIC-SJ
【 批準單位 】 中華人民共和國電子工業部
【 發布日期 】 1994-4-15
【 實施日期 】 1994-6-1
【 開本頁數 】 3P
【 引用標準 】 GB 11481-89
【 起草單位 】 電子工業部第13所
【 起 草 人 】 薛中堂

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