SJ/T 31124-94AEC—2200開(kāi)常壓CVD完好要求和檢查評(píng)定方法

【 標(biāo)準(zhǔn)編號(hào) 】 SJ/T 31124-94
【 標(biāo)準(zhǔn)名稱(chēng) 】 AEC—2200開(kāi)常壓CVD完好要求和檢查評(píng)定方法  
【 發(fā)布單位 】 CSIC-SJ
【 批準(zhǔn)單位 】 中華人民共和國(guó)電子工業(yè)部
【 發(fā)布日期 】 1994-4-15
【 實(shí)施日期 】 1994-6-1
【 開(kāi)本頁(yè)數(shù) 】 2P
【 起草單位 】 中國(guó)華晶電子集團(tuán)公司
【 起 草 人 】 張晨輝; 范建超; 顧軍建; 吳正偉