SJ/T 10583-94氣體質量流量控制器通用技術條件

【 標準編號 】 SJ/T 10583-94
【 標準名稱 】 氣體質量流量控制器通用技術條件  
【 英文名稱 】 General specification for gas mass flow controller
【 發布單位 】 中華人民共和國電子工業部
【 批準單位 】 中華人民共和國電子工業部
【 發布日期 】 1994-8-8
【 實施日期 】 1994-12-1
【 開本頁數 】 16P
【 引用標準 】 GB 191; GB 6388; GB/T 13384; SJ 37; SJ/T
【 起草單位 】 北京建中機器廠
【 起 草 人 】 龔光祥; 劉學儉; 錢祖權