校準項目和校準方法
5.1 外觀及各部分相互作用檢查:
以觀察和試驗的方法檢定
5.2 玻璃工作臺與縱橫向滑板的移動方法的平行度
將測微表固定在顯微鏡的主顯微鏡的立柱上,測微表頭與工作臺面相接觸,移動玻璃工作臺,觀看測微表的示值變化,其變化值不大于JJG56-2000規程中3.2要求。
5.3 縱橫向滑板移動的直線度
將測微表固定在顯微鏡的主顯微鏡的立柱上,平尺安裝在儀器的工作臺上,并將平尺調整至與滑板移動方向平行,使測微表頭與平尺工作面接觸,移動滑板全行程,觀看測微表的示值變化,其變化值大于JJG56-2000規程中3.3要求。
5.4 縱橫向滑板移動的垂直度
將200 mm×100mm寬度直角尺安裝在儀器的工作臺上,測微表借助表架,調整直角尺使其工作面與縱橫滑板移動方向平等,測微表頭與其接觸,移動滑板,觀察測微表示值變化情況,其變化值不大于JJG56-2000規程中3.4要求。
5.5 立柱位于零位時,光軸對工作臺面的垂直度
將尺寸為(2-3)mm的量塊研合在尺寸為(20-50)mm的量塊上,如下圖所示。然后把研合量塊平放在儀器的工作臺上,調節可變光束至最小孔徑,開主顯微鏡臂架,直至在主顯微鏡中見到量塊清析影像為止。這時觀察量塊兩工作面的
影像是否同樣清晰,再將塊調轉180°觀察量塊工作面的影像是否也同樣清晰,以上方法在縱橫向兩個方位上進行。
5.6測角顯微鏡處于零位時,測角目鏡的十字線與滑板移動方向的平行度
校準時,將刀口直角尺或專用玻璃線紋尺的直角線紋的長端平行與縱向滑板的移動方向,轉動測角目鏡的十字分劃線,使其水平線與直角尺或直角線紋的長邊影像平行,觀察測角止鏡的示值是否為零,若不是零,則讀出其偏差,應不大于JJG56-2000規程中3.9的要求。
5.7 測角顯微鏡的示值誤差
在5.6的基礎上依次轉動測角顯微鏡的度盤,移動滑板,使十字線的水平線與滑板移動的方向平行,并按測角顯微鏡讀出受檢點的示值誤差,其誤差,應有大于JJG56-2000規程中3.10要求。
5.8儀器示值誤差
同JJG56-2000規程中5.3.14要求
6 校準數據
作好原始記錄,依據 OP/26 S SZCD012-2006工具顯微鏡原始記錄表格處理。 |