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[電阻] 手持式四探針電阻率測試儀

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實驗室認可領域分類
儀器圖片:
儀器名稱: 手持式四探針電阻率測試儀
英文名稱:
型號規格: M-3
測量范圍:
等級:
分辨率: 0.5%高精度
技術指標: 電阻率:0.010Ω~20.00kΩ;方阻:0.050Ω~100.0kΩ
生產廠家: JG
描述: 四探針電阻率測試儀 (以下簡稱電阻率測試儀),是用來測量半導體材料及工藝硅片的電阻率,或擴散層及外延層,以及絕緣襯底鍍膜層方塊電阻的測量儀器。它主要由電氣部分和探頭等部分組成。自動式測試儀還包括計算機及接口等部分,電氣部分一般包括可調穩流源、A/D轉換器、數字顯示器、換向開關等儀器和部件。探頭部分一般包括探頭夾具、探頭和樣品臺,其原理圖及方框圖如圖1和圖2所示。
相關文檔:  
相關標準: JJG508 四探針電阻率測試儀檢定規程

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四探針原理圖.png

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