用于掃描電子顯微鏡校準的10μm格柵樣板

張曉東,趙琳,李鎖印,韓志國,許曉青,吳愛華
中國電子科技集團公司第十三研究所
摘要：掃描電子顯微鏡是半導體領域用于關鍵尺寸測量的重要儀器。為了保證儀器量值的準確和一致，需要對掃描電子顯微鏡進行校準。首先，針對校準規范中提到的正交畸變和線性失真度參數，采用半導體工藝，研制了一種標稱值為10μm的格柵樣板。其次，為了準確評價格柵特征的一致性，研究了一種矩形檢測算法。測量過程中，使用該算法對樣板的格柵特征進行測量，并把使用原子力顯微鏡獲取的測量數據作為參考值。實驗結果顯示：矩形檢測算法能夠快速檢測出格柵特征，測試數據穩定在6 nm以內。此外，研制的格柵樣板一致性好，一致性參數控制在0.2以內，能夠應用于掃描電子顯微鏡的校準。

掃描電子顯微鏡校準的10μm格柵樣板  學習了

感謝老師給我們的分享