一維線紋激光比長測量裝置及其關(guān)鍵技術(shù)

王理1楊璐1李文慧2肖克1孫雙花2
1. 湖南省計(jì)量檢測研究院2. 中國計(jì)量科學(xué)研究院
摘要：介紹了幾何量測量領(lǐng)域中一維線紋激光比長測量關(guān)鍵技術(shù)和裝置的研究成果，涉及了國內(nèi)外相關(guān)計(jì)量技術(shù)機(jī)構(gòu)在一維線紋方面的測量能力和范圍、裝置的基本組成及其工作原理，以及激光干涉法測長和光電顯微鏡法自動(dòng)對(duì)焦實(shí)現(xiàn)線紋刻線快速瞄準(zhǔn)等方面的內(nèi)容。詳細(xì)闡述了我國一維線紋激光比長測量裝置的研究現(xiàn)狀，重點(diǎn)分析該裝置所應(yīng)用的關(guān)鍵技術(shù)的特點(diǎn)，以及目前的測量水平和能力。根據(jù)目前我國一維線紋測量的技術(shù)發(fā)展?fàn)顩r，從線紋量值溯源和裝備制造產(chǎn)業(yè)發(fā)展兩個(gè)角度討論了一維線紋激光比長測量裝置的應(yīng)用前景。