一維線紋激光比長測量裝置及其關鍵技術

王理1楊璐1李文慧2肖克1孫雙花2
1. 湖南省計量檢測研究院2. 中國計量科學研究院
摘要：介紹了幾何量測量領域中一維線紋激光比長測量關鍵技術和裝置的研究成果，涉及了國內外相關計量技術機構在一維線紋方面的測量能力和范圍、裝置的基本組成及其工作原理，以及激光干涉法測長和光電顯微鏡法自動對焦實現線紋刻線快速瞄準等方面的內容。詳細闡述了我國一維線紋激光比長測量裝置的研究現狀，重點分析該裝置所應用的關鍵技術的特點，以及目前的測量水平和能力。根據目前我國一維線紋測量的技術發展狀況，從線紋量值溯源和裝備制造產業發展兩個角度討論了一維線紋激光比長測量裝置的應用前景。